GB/T 11093-1989
被代替
T/SHDSGY 135-2023
现行
团体标准
T/SHDSGY 135-2023 新能源半导体硅片材料技术
T/SHDSGY 135-2023 New energy semiconductor silicon material technology
价格:
$ 20.00
基本信息
标准编号:
T/SHDSGY 135-2023
标准类型:
团体标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
-
国际标准分类名称:
半导体材料
发布日期:
2023-05-30
实施日期:
2023-05-30
归口单位:
上海都市型工业协会
适用范围
主要技术内容:本文件规定了术语和定义、硅片技术要求、半导体硅片制作流程、试验方法、检验规格标志、包装、运输、贮存和质量证明书。本文件适用于新能源半导体硅片材料技术
研制信息
起草单位:
上海得厚孚新材料科技有限公司、上海米宝宝保洁服务有限公司、上海崮化市政工程有限公司、上海爱荻斯电子信息技术有限公司
起草人:
张才林、庄明珍、张亮、庄雪娇