GB/T 11093-1989
被代替
T/ICMTIA SM006-2021
现行
团体标准
T/ICMTIA SM006-2021 集成电路线宽65nm～14nm逻辑工艺用300mm P/P-型硅外延片
T/ICMTIA SM006-2021 300mm P/P-type silicon epitaxial wafers for logic processes with an integrated circuit linewidth of 65nm-14nm
价格:
$ 38.00
基本信息
标准编号:
T/ICMTIA SM006-2021
标准类型:
团体标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
元素半导体材料
国际标准分类名称:
半导体材料
发布日期:
2021-05-31
实施日期:
2021-07-30
发布单位/组织:
中关村集成电路材料产业技术创新联盟