GB/T 11093-1989
被代替
GB/T 17169-1997
废止
国家标准
GB/T 17169-1997 硅抛光片和外延片表面质量光反射测试方法
GB/T 17169-1997 Test method for the surface quality of polished silicon wafers and epitaxial wafers by optical-reflection
基本信息
标准编号:
GB/T 17169-1997
标准类型:
国家级标准
标准状态:
废止
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
金相检验方法
国际标准分类名称:
半导体材料
发布日期:
1997-12-22
实施日期:
1998-08-01
发布单位/组织:
国家技术监督局
归口单位:
中国有色金属工业总公司标准计量研究所
页数:
12 页
研制信息
起草人:
李增发、王宏杰、张福祯、颜彩蘩、张光寅、邓江东