GB/T 11093-1989
被代替
GB/T 30868-2014
被代替
国家标准
GB/T 30868-2014 碳化硅单晶片微管密度的测定 化学腐蚀法
GB/T 30868-2014 Test method for measuring micropipe density of monocrystalline silicon carbide wafers—Chemically etching
基本信息
标准编号:
GB/T 30868-2014
标准类型:
国家级标准
标准状态:
被代替
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
化合物半导体材料
国际标准分类名称:
半导体材料
发布日期:
2014-07-24
实施日期:
2015-02-01
发布单位/组织:
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位:
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)
页数:
8 页
适用范围
本标准规定了利用熔融氢氧化钾腐蚀法测定碳化硅单晶微管密度的方法。
本标准适用于碳化硅单晶微管密度的测定。
研制信息
起草单位:
中国电子科技集团公司第四十六研究所、中国电子技术标准化研究院
起草人:
丁丽、周智慧、郝建民、蔺娴、何秀坤、刘筠、冯亚彬、裴会川