GB/T 11093-1989
被代替
GB/T 29851-2013
现行
国家标准
GB/T 29851-2013 光伏电池用硅材料中B、Al受主杂质含量的二次离子质谱测量方法
GB/T 29851-2013 Test method for measuring boron and aluminium in silicon materials used for photovoltaic applications by secondary ion mass spectrometry
基本信息
标准编号:
GB/T 29851-2013
标准类型:
国家级标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
元素半导体材料
国际标准分类名称:
半导体材料
发布日期:
2013-11-12
实施日期:
2014-04-15
发布单位/组织:
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位:
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
页数:
6 页
适用范围
本标准规定了用二次离子质谱仪（SIMS）测定光伏电池用硅材料中硼和铝含量的方法。
本标准适用于光伏电池用硅材料中受主杂质硼和铝含量的定量分析，其中硼和铝的浓度均大于1×1013atoms/cm3。其他受主杂质的测量也可参照本标准。
研制信息
起草单位:
信息产业专用材料质量监督检验中心、中国电子技术标准化研究院、国家电子功能与辅助材料质量监督检验中心、天津市环欧半导体材料技术有限公司
起草人:
何友琴、马农农、王东雪、何秀坤、裴会川、冯亚彬、张雪囡