GB/T 3656-1983
被代替
GB/T 30859-2014
现行
国家标准
GB/T 30859-2014 太阳能电池用硅片翘曲度和波纹度测试方法
GB/T 30859-2014 Test method for warp and waviness of silicon wafers for solar cells
基本信息
标准编号:
GB/T 30859-2014
标准类型:
国家级标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
金属物理性能试验方法
国际标准分类名称:
金属材料试验
发布日期:
2014-07-24
实施日期:
2015-04-01
发布单位/组织:
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位:
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)
页数:
12 页
适用范围
本标准规定了太阳能电池用硅片（以下简称硅片）翘曲度和波纹度的测试方法。
本标准适用于硅片翘曲度和波纹度的测试。
研制信息
起草单位:
江苏协鑫硅材料科技发展有限公司、瑟米莱伯贸易(上海)有限公司、有研半导体材料股份有限公司
起草人:
薛抗美、夏根平、孙燕、林清香、徐自亮、黄黎
引用标准
GB/T 3505-2009 产品几何技术规范(GPS) 表面结构 轮廓法 术语、定义及表面结构参数
GB/T 16747-2009 产品几何技术规范(GPS) 表面结构 轮廓法 表面波纹度词汇
GB/T 6620-1995 硅片翘曲度非接触式测试方法
GB/T 6620-2009 硅片翘曲度非接触式测试方法
GB/T 14264-1993 半导体材料术语
GB/T 14264-2009 半导体材料术语
GB/T 14264-2024 半导体材料术语
GB/T 18777-2002 产品几何量技术规范(GPS) 表面结构 轮廓法 相位修正滤波器的计量特性
GB/T 18777-2009 产品几何技术规范(GPS)表面结构 轮廓法 相位修正滤波器的计量特性
GB/Z 26958.1-2011 产品几何技术规范(GPS) 滤波 第1部分：概述和基本概念
GB/Z 26958.20-2011 产品几何技术规范(GPS) 滤波 第20部分：线性轮廓滤波器 基本概念
GB/T 26958.21-2020 产品几何技术规范(GPS) 滤波 第21部分：线性轮廓滤波器 高斯滤波器
GB/Z 26958.22-2011 产品几何技术规范(GPS) 滤波 第22部分：线性轮廓滤波器样条滤波器
GB/T 26958.28-2020 产品几何技术规范(GPS) 滤波 第28部分：轮廓滤波器 端部效应
GB/Z 26958.29-2011 产品几何技术规范(GPS) 滤波 第29部分：线性轮廓滤波器样条小波
GB/T 26958.29-2024 产品几何技术规范(GPS) 滤波 第29部分：线性轮廓滤波器 小波
GB/Z 26958.30-2017 产品几何技术规范(GPS) 滤波 第30部分：稳健轮廓滤波器 基本概念
GB/Z 26958.31-2011 产品几何技术规范(GPS) 滤波 第31部分：稳健轮廓滤波器 高斯回归滤波器
GB/Z 26958.32-2011 产品几何技术规范(GPS) 滤波 第32部分：稳健轮廓滤波器 样条滤波器
GB/Z 26958.40-2011 产品几何技术规范(GPS) 滤波 第40部分：形态学轮廓滤波器 基本概念
GB/Z 26958.41-2011 产品几何技术规范(GPS) 滤波 第41部分：形态学轮廓滤波器 圆盘和水平线段滤波器
GB/Z 26958.49-2011 产品几何技术规范(GPS) 滤波 第49部分：形态学轮廓滤波器 尺度空间技术
GB/T 26958.60-2023 产品几何技术规范(GPS) 滤波 第60部分：线性区域滤波器 基本概念
GB/T 26958.61-2023 产品几何技术规范(GPS) 滤波 第61部分：线性区域滤波器 高斯滤波器
GB/T 26958.71-2022 产品几何技术规范(GPS) 滤波 第71部分：稳健区域滤波器高斯回归滤波器
GB/T 26958.85-2022 产品几何技术规范(GPS) 滤波 第85部分：形态学区域滤波器 分割
GB/T 26958.20-2025 产品几何技术规范(GPS) 滤波 第20部分：线性轮廓滤波器：基本概念
GB/T 26958.1-2025 产品几何技术规范(GPS) 滤波 第1部分：概述和基本概念
GB/T 26958.30-2025 产品几何技术规范(GPS) 滤波 第30部分：稳健轮廓滤波器：基本概念