GB/T 11093-1989
被代替
GB/T 6624-2009
现行
国家标准
GB/T 6624-2009 硅抛光片表面质量目测检验方法
GB/T 6624-2009 Standard method for measuring the surface quality of polished silicon slices by visual inspection
基本信息
标准编号:
GB/T 6624-2009
标准类型:
国家级标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
半金属与半导体材料
国际标准分类名称:
半导体材料
发布日期:
2009-10-30
实施日期:
2010-06-01
发布单位/组织:
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位:
全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会
页数:
4 页
适用范围
本标准规定了在一定光照条件下，用目测检验单晶抛光片（以下简称抛光片）表面质量的方法。
本标准适用于硅抛光片表面质量检验。外延片表面质量目测检验也可参考本方法进行。
研制信息
起草单位:
上海合晶硅材料有限公司
起草人:
徐新华、王珍