GB/T 11093-1989
被代替
GB/T 14141-1993
被代替
国家标准
GB/T 14141-1993 硅外延层、扩散层和离子注入层薄层电阻的测定 直排四探针法
GB/T 14141-1993 Test method for sheet resistance of silicon epitaxial, diffused and ion-implanted layers using a collinear four-probe array
基本信息
标准编号:
GB/T 14141-1993
标准类型:
国家级标准
标准状态:
被代替
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
金属物理性能试验方法
国际标准分类名称:
半导体材料
发布日期:
1993-02-06
实施日期:
1993-10-01
发布单位/组织:
国家技术监督局
页数:
5 页
研制信息
起草单位:
峨眉半导体材料研究所
起草人:
张新、郑绪明
被以下标准替代
引用标准
采用标准
ASTM 374-84