GB/T 11093-1989
被代替
GB/T 14142-1993
被代替
国家标准
GB/T 14142-1993 硅外延层晶体完整性检查方法 腐蚀法
GB/T 14142-1993 Test method for crystallographic perfection of epitaxial layers in silicon by etching techniques
基本信息
标准编号:
GB/T 14142-1993
标准类型:
国家级标准
标准状态:
被代替
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
金属无损检验方法
国际标准分类名称:
半导体材料
发布日期:
1993-02-06
实施日期:
1993-10-01
发布单位/组织:
国家技术监督局
页数:
6 页
研制信息
起草单位:
峨眉半导体材料研究所
起草人:
赵庆贵、吴毅
被以下标准替代
采用标准
ASTM F80-1985