GB/T 11093-1989
被代替
YS/T 986-2014
现行
行业标准-有色金属
YS/T 986-2014 晶片正面系列字母数字标志规范
YS/T 986-2014 Specification for serial alphanumeric marking of the front surface of wafers
基本信息
标准编号:
YS/T 986-2014
标准类型:
行业标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
半金属与半导体材料
国际标准分类名称:
半导体材料
发布日期:
2014-10-14
实施日期:
2015-04-01
发布单位/组织:
中华人民共和国工业和信息化部
归口单位:
全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)
页数:
11 页
适用范围
本标准定义了标记包括字母数字的几何尺寸和空间位置尤其适用于带参考面和带缺口的硅抛光片。
本标准不涉及制作标记的技术。
研制信息
起草单位:
有研半导体材料股份有限公司、杭州海纳半导体有限公司、万向硅峰电子股份有限公司、浙江金瑞泓科技股份有限公司
起草人:
张静、边永智、孙燕、鲁进军、楼春兰、王飞尧、何良恩、张海英
引用标准
SEMI M13
SEMI AUX001
SEMI AUX015
采用标准
SEMI M12-0706