GB/T 4855-1984
废止
GB/T 34898-2017
现行
国家标准
GB/T 34898-2017 微机电系统(MEMS)技术 MEMS谐振敏感元件非线性振动测试方法
GB/T 34898-2017 Micro electromechanical system technology—Test method for thenonlinear vibration of the MEMS resonant sensitive element
基本信息
标准编号:
GB/T 34898-2017
标准类型:
国家级标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
微电路
国际标准分类名称:
集成电路、微电子学
发布日期:
2017-11-01
实施日期:
2018-05-01
发布单位/组织:
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位:
全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)
页数:
13 页
适用范围
本标准规定了谐振式传感器中MEMS谐振敏感元件（以下简称敏感元件）非线性振动特性参数的测试方法。本标准适用于敏感元件在研制和生产过程中关于非线性振动特性和敏感元件闭环系统频率偏移的测试，其他非MEMS敏感元件可参考使用。
研制信息
起草单位:
北京遥测技术研究所、中机生产力促进中心
起草人:
李庆丰、金小锋、李海斌、朱悦、程红兵