GB/T 11093-1989
被代替
T/ZZB 0648-2018
现行
团体标准
T/ZZB 0648-2018 200 mm重掺磷直拉硅单晶抛光片
T/ZZB 0648-2018 200 mm heavy phosphorus-doped straight pull silicon single crystal polished wafer
价格:
$ 20.00
基本信息
标准编号:
T/ZZB 0648-2018
标准类型:
团体标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
元素半导体材料
国际标准分类名称:
半导体材料
发布日期:
2018-10-19
实施日期:
2018-11-01
归口单位:
浙江省质量协会
适用范围
主要技术内容:本标准规定了200 mm重掺磷直拉硅单晶抛光片的术语和定义、产品分类、基本要求、技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志、运输和贮存、订货单（或合同）内容和质量承诺。本标准适用于以电子级多晶硅为主要原材料，采用直拉法制备的直径为200 mm的硅单晶抛光片。产品主要用于集成电路、分立器件用外延片的衬底
研制信息
起草单位:
本标准由浙江省标准化研究院牵头组织制定。 本标准主要起草单位：浙江金瑞泓科技股份有限公司。 本标准参与起草单位：金瑞泓科技（衢州）有限公司
起草人:
许峰、朱华英、陈平人、田达晰、梁兴勃、刘红方、李方虎、李艳玲