GB/T 11093-1989
被代替
T/CNIA 0101-2021
现行
团体标准
T/CNIA 0101-2021 绿色设计产品评价技术规范 碳化硅单晶抛光片
T/CNIA 0101-2021 Green Design Product Evaluation Specification for Silicon Carbide Monocrystal Polishing Pieces
价格:
$ 20.00
基本信息
标准编号:
T/CNIA 0101-2021
标准类型:
团体标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
-
国际标准分类名称:
半导体材料
发布日期:
2021-03-19
实施日期:
2021-09-01
归口单位:
中国有色金属工业协会
适用范围
主要技术内容:本文件规定了4H及6H碳化硅单晶抛光片绿色设计产品评价的评价要求、生命周期评价报告编制方法、评价方法和流程。本文件适用于物理气相传输法生产的4H及6H碳化硅单晶抛光片绿色设计产品的评价
研制信息
起草单位:
本文件规定了4H及6H碳化硅单晶抛光片绿色设计产品评价的评价要求、生命周期评价报告编制方法、评价方法和流程。 本文件适用于物理气相传输法生产的4H及6H碳化硅单晶抛光片绿色设计产品的评价
起草人:
彭同华、佘宗静、赵宁、王波、杨建、王大军、刘祎晨、陈鹏、邹宇、张平、马远