GB/T 15861-2012
现行
SJ/T 11763-2020
现行
行业标准-电子
SJ/T 11763-2020 半导体制造设备人机界面规范
SJ/T 11763-2020 SJ/T 11763-2020 Semiconductor manufacturing equipment human-machine interface specification
价格:
$ 30
基本信息
标准编号:
SJ/T 11763-2020
标准类型:
行业标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
电子工业生产设备
国际标准分类名称:
电子产品生产设备
发布日期:
2020-12-09
实施日期:
2021-04-01
发布单位/组织:
工业和信息化部
归口单位:
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
适用范围
适用于半导体制造设备
研制信息
起草单位:
北京北方华创微电子装备有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院、北方华创科技集团股份有限公司等
起草人:
付金生、冯亚彬、程朝阳 等