GB/T 3656-1983
被代替
GB/T 47080-2026
现行
国家标准
GB/T 47080-2026 金刚石单晶抛光片位错密度的测试方法
GB/T 47080-2026 Test method for dislocation density of diamond single crystal polished wafer
价格:
$ 33.00
基本信息
标准编号:
GB/T 47080-2026
标准类型:
国家级标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
半金属及半导体材料分析方法
国际标准分类名称:
金属材料试验
发布日期:
2026-01-28
实施日期:
2026-08-01
发布单位/组织:
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
归口单位:
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)
页数:
12 页
适用范围
本文件描述了用干法刻蚀结合显微计数测试立方金刚石单晶抛光片位错密度的方法。
本文件适用于{100}、{110}或{111}晶面立方金刚石单晶抛光片位错密度范围为5×103个/cm2~5×107个/cm2的测试。
研制信息
起草单位:
中国科学院半导体研究所、德州学院、成都中科米格检测技术有限公司、中国石油集团工程材料研究院有限公司、河南碳真芯材科技有限公司、吉林大学、安徽光智科技有限公司、山东大学、嘉兴沃尔德金刚石工具有限公司、北京大学东莞光电研究院、浙江先导微电子科技有限公司、北京特思迪半导体设备有限公司、宁波晶钻科技股份有限公司、河南省惠丰金刚石有限公司、哈工大郑州研究院、南京同溧晶体材料研究院有限公司、湖北碳六科技有限公司、南京瑞为新材料科技有限公司、成都市玖展科技有限公司、佳睿福钻石(河南)有限公司
起草人:
霍晓迪、曹繁秋、郑红军、王希玮、闫方亮、王少龙、屈鹏霏、王镇、金鹏、李红东、朱嘉琦、欧琳芳、陈继锋、王琦、于金凤、蒋继乐、张娟涛、张军安、王志强、李一村、李东振、吕继磊、徐良伟、黄亮、冯参军、赵继文
引用标准
GB/T 678-2002 化学试剂 乙醇(无水乙醇)
GB/T 678-2023 化学试剂 乙醇(无水乙醇)
GB/T 686-1989 化学试剂 丙酮
GB/T 686-2008 化学试剂 丙酮
GB/T 686-2023 化学试剂 丙酮
GB/T 1555-1997 半导体单晶晶向测定方法
GB/T 1555-2009 半导体单晶晶向测定方法
GB/T 1555-2023 半导体单晶晶向测定方法
GB/T 3634.2-2011 氢气 第2部分：纯氢、高纯氢和超纯氢
GB/T 3634.2-2025 氢气 第2部分：纯氢、高纯氢和超纯氢
GB/T 6682-1992 分析实验室用水规格和试验方法
GB/T 6682-2008 分析实验室用水规格和试验方法
GB/T 8979-1996 纯氮
GB/T 8979-2008 纯氮、高纯氮和超纯氮
GB/T 8979-2025 纯氮、高纯氮和超纯氮
GB/T 14264-1993 半导体材料术语
GB/T 14264-2009 半导体材料术语
GB/T 14264-2024 半导体材料术语
GB/T 14599-1993 高纯氧
GB/T 14599-2008 纯氧、高纯氧和超纯氧
GB/T 14599-2025 纯氧、高纯氧和超纯氧