GB/T 15861-2012
现行
SJ/T 11761-2020
现行
行业标准-电子
SJ/T 11761-2020 200mm及以下晶圆用半导体设备装载端口规范
SJ/T 11761-2020 Specification for loading ports of semiconductor equipment for wafers with diameters of 200mm or less
价格:
$ 30
基本信息
标准编号:
SJ/T 11761-2020
标准类型:
行业标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
电子工业生产设备
国际标准分类名称:
电子产品生产设备
发布日期:
2020-12-09
实施日期:
2021-04-01
发布单位/组织:
工业和信息化部
归口单位:
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
适用范围
适用于加工直径 200 mm 及以下晶圆的半导体设备装载端口
研制信息
起草单位:
上海微电子装备有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院、中微半导体设备（上海）有限公司等
起草人:
胡松立、郑教增、冯亚彬 等