GB/T 3656-1983
被代替
GB/T 14146-2021
现行
国家标准
GB/T 14146-2021 硅外延层载流子浓度的测试 电容-电压法
GB/T 14146-2021 Test method for carrier concentration of silicon epitaxial layers—Capacitance-voltage method
基本信息
标准编号:
GB/T 14146-2021
标准类型:
国家级标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
金属物理性能试验方法
国际标准分类名称:
金属材料试验
发布日期:
2021-05-21
实施日期:
2021-12-01
发布单位/组织:
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
归口单位:
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)
页数:
13 页
适用范围
本文件规定了电容电压法测试硅外延层载流子浓度的方法，包括汞探针电容电压法和无接触电容电压法。
本文件适用于同质硅外延层载流子浓度的测试，测试范围为4×1013 cm-3～8×1016 cm-3，其中硅外延层的厚度大于测试偏压下耗尽层深度的两倍。硅单晶抛光片和同质碳化硅外延片载流子浓度的测试也可以参照本文件进行，其中无接触电容电压法不适用于同质碳化硅外延片载流子浓度的测试。
研制信息
起草单位:
南京国盛电子有限公司、有色金属技术经济研究院有限责任公司、中电晶华(天津)半导体材料有限公司、有研半导体材料有限公司、河北普兴电子科技股份有限公司、浙江金瑞泓科技股份有限公司、瑟米莱伯贸易(上海)有限公司、无锡华润上华科技有限公司、义乌力迈新材料有限公司
起草人:
骆红、潘文宾、杨素心、赵扬、赵而敬、张佳磊、李慎重、黄黎、严琴、黄宇程、皮坤林
替代以下标准
引用标准
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