GB/T 14140.1-1993
被代替
GB/T 11073-2007
被代替
国家标准
GB/T 11073-2007 硅片径向电阻率变化的测量方法
GB/T 11073-2007 Standard method for measuring radial resistivity variation on silicon slices
基本信息
标准编号:
GB/T 11073-2007
标准类型:
国家级标准
标准状态:
被代替
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
半金属及半导体材料分析方法
国际标准分类名称:
金属材料试验综合
发布日期:
2007-09-11
实施日期:
2008-02-01
发布单位/组织:
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位:
全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会
页数:
16 页
适用范围
本标准规定了用直排四探针法测量硅单晶片径向电阻率变化的方法。 本标准适用于厚度小于探针平均间距、直径大于15 mm、电阻率为1×10－3 Ω·cm～3×103 Ω·cm硅单晶圆片径向电阻率变化的测量。
研制信息
起草单位:
峨嵋半导体材料厂
起草人:
梁洪、覃锐兵、王炎
替代以下标准
被以下标准替代
引用标准
GB/T 6618-1995 硅片厚度和总厚度变化测试方法
GB/T 1552-1995 硅、锗单晶电阻率测定 直排四探针法
GB/T 2828.1-2003 计数抽样检验程序 第1部分：按接收质量限(AQL)检索的逐批检验抽样计划
GB/T 2828.1-2012 计数抽样检验程序 第1部分：按接收质量限(AQL)检索的逐批检验抽样计划
GB/T 2828.2-2008 计数抽样检验程序 第2部分：按极限质量(LQ)检索的孤立批检验抽样方案
GB/T 2828.3-2008 计数抽样检验程序 第3部分：跳批抽样程序
GB/T 2828.4-2008 计数抽样检验程序 第4部分：声称质量水平的评定程序
GB/T 2828.5-2011 计数抽样检验程序 第5部分：按接收质量限(AQL)检索的逐批序贯抽样检验系统
GB/T 2828.10-2010 计数抽样检验程序 第10部分：GB/T 2828计数抽样检验系列标准导则
GB/T 2828.11-2008 计数抽样检验程序 第11部分：小总体声称质量水平的评定程序
GB/T 12965-1996 硅单晶切割片和研磨片
GB/T 12965-2005 硅单晶切割片和研磨片
GB/T 12965-2018 硅单晶切割片和研磨片
采用标准
ASTM F 81-1901