GB/T 11093-1989
被代替
GB/T 14140-2009
被代替
国家标准
GB/T 14140-2009 硅片直径测量方法
GB/T 14140-2009 Test method for measuring diameter of semiconductor wafer
基本信息
标准编号:
GB/T 14140-2009
标准类型:
国家级标准
标准状态:
被代替
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
元素半导体材料
国际标准分类名称:
半导体材料
发布日期:
2009-10-30
实施日期:
2010-06-01
发布单位/组织:
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位:
全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会
页数:
12 页
适用范围
本标准规定了用光学投影仪测量硅片直径的方法。本标准适用于测量圆形硅片的直径，可测最大直径为300 mm。本标准不适用于测量硅片的不圆度。
研制信息
起草单位:
洛阳单晶硅有限责任公司
起草人:
刘玉芹、蒋建国、张静雯、冯校亮