GB/T 11093-1989
被代替
GB/T 12963-1996
被代替
国家标准
GB/T 12963-1996 硅多晶
GB/T 12963-1996 Polycrystalline silicon
基本信息
标准编号:
GB/T 12963-1996
标准类型:
国家级标准
标准状态:
被代替
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
元素半导体材料
国际标准分类名称:
半导体材料
发布日期:
1996-11-04
实施日期:
1997-04-01
发布单位/组织:
国家技术监督局
归口单位:
中国有色金属工业总公司标准计量研究所
页数:
8 页
研制信息
起草单位:
峨眉半导体材料厂和中国有色金属工业总公司标准计量研究所
起草人:
王鸿高、尹建华、刘文魁、吴福立
替代以下标准
GB 12963-1991
被以下标准替代
引用标准
采用标准
SEMI M16-1989