GB/T 11093-1989
被代替
GB/T 12963-2009
被代替
国家标准
GB/T 12963-2009 硅多晶
GB/T 12963-2009 Specification for polycrystalline silicon
基本信息
标准编号:
GB/T 12963-2009
标准类型:
国家级标准
标准状态:
被代替
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
元素半导体材料
国际标准分类名称:
半导体材料
发布日期:
2009-10-30
实施日期:
2010-06-01
发布单位/组织:
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位:
全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会
页数:
5 页
适用范围
本标准规定了硅多晶的产品分类、技术要求、试验方法、检验规则以及标志、运输、贮存。本标准适用于以三氯氢硅或四氯化硅用氢还原法制得的硅多晶。
研制信息
起草单位:
峨眉半导体材料厂
起草人:
罗莉萍、张辉坚、王炎
替代以下标准
被以下标准替代
引用标准
ASTM F1723
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采用标准
SEMI M16-1103:2003