GB/T 30652-2014 被代替国家标准

GB/T 30652-2014 硅外延用三氯氢硅

GB/T 30652-2014 Trichlorosilane for silicon epitaxial

发布日期: 2014-12-31 实施日期: 2015-09-01 中国正版标准查询、采购、翻译等其他相关服务，请联系我们

标准编号: GB/T 30652-2014

标准类型: 国家级标准

标准状态: 被代替

is_force_gb: no

中国标准分类名称: 化合物半导体材料

国际标准分类名称: 半导体材料

发布日期: 2014-12-31

实施日期: 2015-09-01

发布单位/组织: 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

归口单位: 全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/TC 203/SC 2)

页数: 5 页

本标准规定了硅外延用三氯氢硅(SiHCl3)的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存、质量证明书以及订货单 (或合同)内容。
本标准适用于以粗三氯氢硅为原料经过提纯而制得的硅外延用三氯氢硅（以下简称产品）。

中锗科技有限公司、南京国盛电子有限公司、南京中锗科技股份有限公司

柯尊斌、刘新军、郑华荣、谭卫东、金龙

字数: 6 千字 页数: 5 页

GB/T 30652-2023 硅外延用三氯氢硅