GB/T 11093-1989
被代替
GB/T 30652-2023
现行
国家标准
GB/T 30652-2023 硅外延用三氯氢硅
GB/T 30652-2023 Trichlorosilane for silicon epitaxial
基本信息
标准编号:
GB/T 30652-2023
标准类型:
国家级标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
化合物半导体材料
国际标准分类名称:
半导体材料
发布日期:
2023-08-06
实施日期:
2024-03-01
发布单位/组织:
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
归口单位:
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)
页数:
9 页
适用范围
本文件规定了硅外延用三氯氢硅（SiHCl 3）的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、随行文件及订货单内容。
本文件适用于以三氯氢硅为原料精制提纯而制得的硅外延用三氯氢硅（以下简称产品）。
研制信息
起草单位:
洛阳中硅高科技有限公司、有色金属技术经济研究院有限责任公司、上海亿钶气体有限公司、南京国盛电子有限公司、唐山三孚电子材料有限公司、上海新昇半导体科技有限公司、上海晶盟硅材料有限公司、新疆大全新能源股份有限公司、陕西有色天宏瑞科硅材料有限责任公司、武汉新硅科技潜江有限公司、宜昌南玻硅材料有限公司、中电晶华(天津)半导体材料有限公司、昊华气体有限公司、新疆新特新能材料检测中心有限公司、青海中航硅材料有限公司、沁阳国顺硅源光电气体有限公司、江西晨光新材料股份有限公司
起草人:
万烨、赵雄、严大洲、刘见华、张园园、李素青、李建新、李飞明、冯永平、孙任靖、张斌、顾广安、于生海、邓远红、徐岩、李楷东、刘文明、李明达、付梦月、邱艳梅、边红利、史隽涛、梁秋鸿
替代以下标准
引用标准
GB 190-1990 危险货物包装标志
GB 190-2009 危险货物包装标志
GB/T 191-2000 包装储运图示标志
GB/T 191-2008 包装储运图示标志
GB/T 1551-1995 硅、锗单晶电阻率测定 直流两探针法
GB/T 1551-2009 硅单晶电阻率测定方法
GB/T 1551-2021 硅单晶电阻率的测定 直排四探针法和直流两探针法
GB/T 3723-1999 工业用化学产品采样安全通则
GB 12463-1990 危险货物运输包装通用技术条件
GB 12463-2009 危险货物运输包装通用技术条件
GB/T 14264-1993 半导体材料术语
GB/T 14264-2009 半导体材料术语
GB/T 14264-2024 半导体材料术语
GB 15258-1999 化学品安全标签编写规定
GB 15258-2009 化学品安全标签编写规定
GB 16483-2000 化学品安全技术说明书 编写规定
GB/T 16483-2008 化学品安全技术说明书 内容和项目顺序
GB/T 24581-2009 低温傅立叶变换红外光谱法测量硅单晶中Ⅲ、Ⅴ族杂质含量的测试方法
GB/T 24581-2022 硅单晶中Ⅲ、Ⅴ族杂质含量的测定 低温傅立叶变换红外光谱法
GB/T 26571-2011 特种气体储存期规范
GB/T 28654-2012 工业三氯氢硅
GB/T 28654-2018 工业三氯氢硅
GB/T 29056-2012 硅外延用三氯氢硅化学分析方法 硼、铝、磷、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、钼、砷和锑量的测定 电感耦合等离子体质谱法
GB/T 29057-2012 用区熔拉晶法和光谱分析法评价多晶硅棒的规程
GB/T 29057-2023 用区熔拉晶法和光谱分析法评价多晶硅棒的规程
GB 30000.19-2013 化学品分类和标签规范 第19部分：皮肤腐蚀/刺激
YS/T 987-2014 氯硅烷中碳杂质的测定方法 甲基二氯氢硅的测定
YS/T 1059-2015 硅外延用三氯氢硅中总碳的测定 气相色谱法
YS/T 1060-2015 硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷含量的测定 气相色谱法
YS/T 987-2021 氯硅烷中碳含量的测定 气相色谱质谱联用法
GB/T 191-2025 包装储运图形符号标志
GB/T 29056-2025 硅外延用三氯氢硅中杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法