GB/T 46611-2025 电光调制器用铌酸锂单晶薄膜
GB/T 46611-2025 Lithium niobate single-crystal thin film for electro-optic modulator
基本信息
适用范围
本文件规定了电光调制器用铌酸锂单晶薄膜的要求、检查与检验规则、包装、标签/标志、储存和运输要求,描述了检测方法。
本文件适用于铌酸锂薄膜层厚度为100 nm~1 000 nm,直径为76.2 mm、100.0 mm、150.0 mm和200.0 mm,X切向的电光调制器用同成分铌酸锂单晶薄膜,其他规格的铌酸锂单晶薄膜参照执行。
研制信息
起草单位:
济南晶正电子科技有限公司、上海新硅聚合半导体有限公司、中国科学院半导体研究所、华中科技大学、武汉安湃芯研科技有限公司、中国科学院新疆理化技术研究所、珠海光库科技股份有限公司、广州铌奥光电子有限公司、电子科技大学、海思光电子有限公司、武汉光谷信息光电子创新中心有限公司、中国科学院微电子研究所、江西匀晶光电技术有限公司、兰州大学、山东大学、南开大学、南通南里台科技有限公司、上海交通大学、济南量子技术研究院、中国电子科技集团公司第二十六研究所、南京南智先进光电集成技术研究院有限公司、浙江大学、宁波元芯电子科技有限公司、北京世维通科技股份有限公司、天津华慧芯科技集团有限公司、北京玻色量子科技有限公司、上海图灵智算量子科技有限公司、无锡光子芯片联合研究中心、苏州易缆微半导体技术有限公司、苏州旭创科技有限公司、中国电子科技集团公司第五十五研究所、中国电子科技集团公司第四十四研究所、天津津航技术物理研究所、合肥芯智华光子科技有限公司、北京理工大学、江苏华兴激光科技有限公司
起草人:
胡文、梁龙跃、欧欣、陈阳、李明、王文亭、孙军强、夏金松、孙军、吉贵军、蔡鑫伦、陈开鑫、陈鑫、肖希、黄凯、李志华、夏宗仁、田永辉、唐供宾、薄方、刘丹、何宇、王东周、郑名扬、丁雨憧、陈哲明、冯杰、严仲、刘柳、戴向阳、李俊慧、王旭阳、陈帅、乔石珺、战永兴、方啸天、魏海、殷祥、季梦溪、钱广、刘鹏浩、张洪波、孙文宝、华平壤、徐鹏飞