GB/T 11093-1989
被代替
GB/T 35307-2017
被代替
国家标准
GB/T 35307-2017 流化床法颗粒硅
GB/T 35307-2017 Granular polysilicon produced by fluidized bed method
基本信息
标准编号:
GB/T 35307-2017
标准类型:
国家级标准
标准状态:
被代替
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
元素半导体材料
国际标准分类名称:
半导体材料
发布日期:
2017-12-29
实施日期:
2018-07-01
发布单位/组织:
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位:
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)
页数:
6 页
适用范围
本标准规定了流化床法生产的颗粒硅的术语和定义、要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存、质量证明书和订货单(或合同)内容。本标准适用于以硅烷气为原料,采用流化床法生产的颗粒状多晶硅产品。
研制信息
起草单位:
江苏中能硅业科技发展有限公司、新特能源股份有限公司、亚洲硅业(青海)有限公司、有色金属技术经济研究院、有研半导体材料有限公司、天津市环欧半导体材料技术有限公司、陕西天宏硅材料有限责任公司、青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司
起草人:
刘晓霞、蒋立民、付治栋、鲁文锋、贺东江、李明峰、李咸江、银波、宗冰、程凤伶、夏进京、张雪囡、尹敏、秦榕
被以下标准替代
引用标准
ISO 13322.2
GB/T 1558-1997 硅中代位碳原子含量红外吸收测量方法
GB/T 1558-2009 硅中代位碳原子含量红外吸收测量方法
GB/T 1558-2023 硅中代位碳含量的红外吸收测试方法
GB/T 14264-1993 半导体材料术语
GB/T 14264-2009 半导体材料术语
GB/T 14264-2024 半导体材料术语
GB/T 14844-1993 半导体材料牌号表示方法
GB/T 14844-2018 半导体材料牌号表示方法
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GB/T 24581-2022 硅单晶中Ⅲ、Ⅴ族杂质含量的测定 低温傅立叶变换红外光谱法
GB/T 31854-2015 光伏电池用硅材料中金属杂质含量的电感耦合等离子体质谱测量方法
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