GB/T 35307-2023 现行国家标准

GB/T 35307-2023 流化床法颗粒硅

GB/T 35307-2023 Granular polysilicon produced by fluidized bed method

发布日期: 2023-08-06 实施日期: 2024-03-01 中国正版标准查询、采购、翻译等其他相关服务，请联系我们

标准编号: GB/T 35307-2023

标准类型: 国家级标准

标准状态: 现行

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中国标准分类名称: 元素半导体材料

国际标准分类名称: 半导体材料

发布日期: 2023-08-06

实施日期: 2024-03-01

发布单位/组织: 国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会

归口单位: 全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)

页数: 6 页

本文件规定了流化床法颗粒硅的牌号、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存和随行文件及订货单内容。
本文件适用于以氯硅烷、硅烷气为原料，采用流化床法生产的颗粒状多晶硅(以下简称颗粒硅)。

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字数: 13 千字 页数: 6 页

GB/T 35307-2017 流化床法颗粒硅