DZ/T 0101.12-1994
现行
SJ 21442-2018
现行
行业标准-电子
SJ 21442-2018 GaN-SI 型半绝缘氮化镓单晶片规范
SJ 21442-2018 Specification for semi-insulating gallium nitride monocrystalline wafers of GaN-SI
价格:
$ 30
基本信息
标准编号:
SJ 21442-2018
标准类型:
行业标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
-
国际标准分类名称:
-
发布日期:
2018-01-18
实施日期:
2018-05-01
归口单位:
工业和信息化部电子第四研究院
页数:
20 页
适用范围
本规范规定了GaN-SI型半绝缘氮化镓单晶片的要求、质量保证规定、交货准备等。本规范适用于GaN-SI型半绝缘氮化镓单晶片(以下简称氮化镓单晶片)
研制信息
起草单位:
中国电子科技集团公司第四十六研究所
起草人:
王再恩、张嵩、杨丹丹、齐海涛、洪颖、程红娟、李晖、高飞、郑风振、徐永宽
引用标准
GB/T 13387-1992 电子材料晶片参考面长度测量方法
GB/T 13387-2009 硅及其他电子材料晶片参考面长度测量方法
GB/T 13388-1992 硅片参考面结晶学取向Ｘ射线测量方法
GB/T 13388-2009 硅片参考面结晶学取向X射线测试方法
GB/T 1555-2009 半导体单晶晶向测定方法
GB/T 191-2000 包装储运图示标志
GB/T 191-2008 包装储运图示标志
GB/T 30867-2014 碳化硅单晶片厚度和总厚度变化测试方法
GB/T 32188-2015 氮化镓单晶衬底片X射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法
GB/T 32189-2015 氮化镓单晶衬底表面粗糙度的原子力显微镜检验法
GB/T 32278-2015 碳化硅单晶片平整度测试方法
GB/T 6624-1995 硅抛光片表面质量目测检验方法
GB/T 6624-2009 硅抛光片表面质量目测检验方法
GJB 179A-1996
GB/T 191-2025 包装储运图形符号标志