GB/T 11093-1989
被代替
YS/T 28-2015
废止
行业标准-有色金属
YS/T 28-2015 硅片包装
YS/T 28-2015 Package of silicon wafers
基本信息
标准编号:
YS/T 28-2015
标准类型:
行业标准
标准状态:
废止
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
半金属与半导体材料
国际标准分类名称:
半导体材料
发布日期:
2015-04-30
实施日期:
2015-10-01
发布单位/组织:
中华人民共和国工业和信息化部
归口单位:
全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)
页数:
12 页
适用范围
本标准规定了硅片的包装。
本标准适用于硅单晶抛光片、外延片、SOI等硅片的洁净包装、硅单晶研磨片(简称硅研磨片)包装和太阳能电池用硅片包装使其在运输、贮存过程中避免再次沾污和破碎。
研制信息
起草单位:
杭州海纳半导体有限公司、有研新材料股份有限公司、南京国盛电子有限公司、江苏协鑫硅材料科技发展有限公司、浙江省硅材料质量检验中心、东莞市华源光电科技有限公司
起草人:
王飞尧、孙燕、马林宝、夏根平、林清香、楼春兰、王志同
替代以下标准
引用标准
GB/T 12964-2003 硅单晶抛光片
GB/T 12964-2018 硅单晶抛光片
GB/T 12965-1996 硅单晶切割片和研磨片
GB/T 12965-2005 硅单晶切割片和研磨片
GB/T 12965-2018 硅单晶切割片和研磨片
GB/T 14139-1993 硅外延片
GB/T 14139-2009 硅外延片
GB/T 14139-2019 硅外延片
GB/T 14264-1993 半导体材料术语
GB/T 14264-2009 半导体材料术语
GB/T 14264-2024 半导体材料术语
GB/T 26071-2010 太阳能电池用硅单晶切割片
GB/T 26071-2018 太阳能电池用硅单晶片
GB/T 29055-2012 太阳电池用多晶硅片
GB/T 29055-2019 太阳能电池用多晶硅片
GB/T 29506-2013 300 mm硅单晶抛光片
GB 50073-2013 洁净厂房设计规范(附条文说明)
GB/T 26071-2026 太阳能电池用硅单晶及硅单晶片