GB/T 11093-1989
被代替
GB/T 14139-2009
被代替
国家标准
GB/T 14139-2009 硅外延片
GB/T 14139-2009 Silicon epitaxial wafers
基本信息
标准编号:
GB/T 14139-2009
标准类型:
国家级标准
标准状态:
被代替
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
半金属与半导体材料
国际标准分类名称:
半导体材料
发布日期:
2009-10-30
实施日期:
2010-06-01
发布单位/组织:
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位:
全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会
页数:
7 页
适用范围
本标准规定了硅外延片的产品分类、技术要求、试验方法和检验规则及标志、包装运输、贮存等。本标准适用于在N型硅抛光片衬底上生长的n型外延层（N/N＋）和在p型硅抛光片衬底上生长的P型外延层（P/P＋）的同质硅外延片。产品主要用于制作硅半导体器件。其他类型的硅外延片可参照使用。
研制信息
起草单位:
宁波立立电子股份有限公司
起草人:
许峰、刘培东、李慎重、谌攀
替代以下标准
被以下标准替代
引用标准
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