GB/T 11093-1989
被代替
GB/T 12963-2014
被代替
国家标准
GB/T 12963-2014 电子级多晶硅
GB/T 12963-2014 Electronic-grade polycrystalline silicon
基本信息
标准编号:
GB/T 12963-2014
标准类型:
国家级标准
标准状态:
被代替
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
元素半导体材料
国际标准分类名称:
半导体材料
发布日期:
2014-12-31
实施日期:
2015-09-01
发布单位/组织:
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位:
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/TC 203/SC 2)
页数:
6 页
适用范围
本标准规定了多晶硅的要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、储存、质量证明书和订货单（或合同）内容。
本标准适用于以氯硅烷、硅烷制得的多晶硅。
研制信息
起草单位:
峨嵋半导体材料研究所、四川新光硅业科技有限责任公司、有研半导体材料股份有限公司、江苏中能硅业科技发展有限公司、新特能源股份有限公司、洛阳中硅高科技有限公司
起草人:
詹科、杨旭、种娜、黎亚文、梁洪、孙燕、刘晓霞、银波、甘新业、严大洲
替代以下标准
被以下标准替代
引用标准
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