GB/T 11093-1989
被代替
GB/T 30858-2025
现行
国家标准
GB/T 30858-2025 蓝宝石单晶衬底抛光片
GB/T 30858-2025 Polished mono-crystalline sapphire substrate wafer
基本信息
标准编号:
GB/T 30858-2025
标准类型:
国家级标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
化合物半导体材料
国际标准分类名称:
半导体材料
发布日期:
2025-10-31
实施日期:
2026-05-01
发布单位/组织:
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
归口单位:
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)
页数:
16 页
适用范围
本文件规定了蓝宝石单晶衬底抛光片（以下简称“蓝宝石衬底片”)的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、随行文件和订货单内容。
本文件适用于直径不大于200 mm的蓝宝石衬底片。产品主要用于外延生长半导体薄膜、生产蓝宝石图形化衬底、蓝宝石键合衬底等。
研制信息
起草单位:
天通银厦新材料有限公司、有色金属技术经济研究院有限责任公司、青岛华芯晶电科技有限公司、中国科学院上海光学精密机械研究所、广东中图半导体科技股份有限公司、徐州凯成科技有限公司、宁夏材料研究学会、北方民族大学、深圳中机新材料有限公司
起草人:
鲁雅荣、杨诗音、康森、李素青、郑东、杭寅、张能、陆椿、韩凤兰、李宁、武金龙、董福元、陈斌
替代以下标准
引用标准
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