GB/T 11093-1989
被代替
GB/T 35310-2017
现行
国家标准
GB/T 35310-2017 200 mm硅外延片
GB/T 35310-2017 200 mm silicon epitaxial wafer
基本信息
标准编号:
GB/T 35310-2017
标准类型:
国家级标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
元素半导体材料
国际标准分类名称:
半导体材料
发布日期:
2017-12-29
实施日期:
2018-07-01
发布单位/组织:
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位:
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)
页数:
9 页
适用范围
本标准规定了直径200 mm硅外延片的术语和定义、产品分类、要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存、质量证明书。本标准适用于在N型和P型硅抛光衬底片上外延生长的硅外延片。产品主要用于制作集成电路或半导体器件。
研制信息
起草单位:
南京国盛电子有限公司、有色金属技术经济研究院
起草人:
马林宝、骆红、杨帆、金龙、杨素心
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